大型基板の反転装置
大型基板の反転装置でバックラッシ対策の為タイミングベルトによる駆動を検討していたが、使用している内に摩耗による発塵やベルトの伸びによるメンテナンス性が課題となり他の駆動方法を模索していた。
解決の内容・施策
TCGリングユニットRGU（Rガイド仕様）を採用。RGUシリーズはTCGリングとローラピニオン、Rガイド、ボール減速機を組み合わせた大口径中空を実現した減速ユニットで、TCGシリーズの特徴からノンバックラッシの旋回が可能なためタイミングベルトとの置き換えが可能。またTCGシリーズは転がり接触により摩耗が非常に少なく低発塵でメンテナンス性が高く、課題となっていた発塵やメンテナンス頻度の多さの解決が見込まれるため採用を行った。
効果・メリット
TCGリングユニットRGU（Rガイド仕様）を採用したことでノンバックラッシ且つ低発塵での駆動が可能となった。
TCGシリーズはローラピニオンとカムリングの噛合い箇所が転がり接触の為、低発塵、低摩耗を実現。
潤滑に必要なグリースの塗布量も少なく歯面の摩耗量も極めて微小なことからメンテナンス性も高く、メンテナンスの度に発生する資材費や人件費等のランニングコストを低減させることができた。またTCGリングユニットRGU（Rガイド仕様）はTCGリングとローラピニオン、Rガイド、ボール減速機を組み合わせたユニットタイプのため設計や組立に掛かる工数も削減することができた。
